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晶圓Pin針頂升工位·小型電動缸應(yīng)用提案
裝置概要
半導(dǎo)體的工藝發(fā)展對設(shè)備的要求逐步提升,對每個軸的動作也愈發(fā)嚴格。
小型化、高效率、高精度、低振動……眾多需求在機構(gòu)上的設(shè)計應(yīng)用,以下將為您介紹各類提案:


*圖片僅供示意


實現(xiàn)動作
將吸附于平臺上的晶圓片通過Pin針頂起,
以便于利用搬運機械手進行取、送晶圓片。
※晶圓頂起前,會通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式附著在平臺上。

機構(gòu)痛點·難題
• 吸附型平臺采用氣缸頂升PIN針,晶圓可能出現(xiàn)“裂片”。
• 需頂升大尺寸晶圓,實現(xiàn)大負載驅(qū)動。
• 實現(xiàn)小型化。
• 提升效率,提高空間利用率。

課題:晶圓裂片/晃動、位置偏離
例如:吸附型平臺會出現(xiàn)未完全解除吸附力的情況,導(dǎo)致頂升時晶圓片短時間內(nèi)仍吸附于平臺上。

痛點分析:
采用氣動為動力源的頂升機構(gòu),氣動頂升動作無加速過程,易導(dǎo)致:

突然頂起時的瞬間推力過大,有導(dǎo)致晶圓裂片的可能。
高速升降、起停時不平穩(wěn),導(dǎo)致晶圓晃動、位置偏離。


解決方案: 改變驅(qū)動方式:氣缸驅(qū)動→電動缸驅(qū)動
小型電動缸動力源采用步進電動機,可輕易實現(xiàn)平穩(wěn)加/減速設(shè)定。
即使有吸附力殘留,因初期有緩慢加速過程,不會對晶圓造成瞬間沖擊。頂升后,平滑的減速、停止過程,實現(xiàn)晶圓平穩(wěn)頂升,同時保證停止精度。


適用于微小移動量·高精度定位
中空轉(zhuǎn)子和滾珠螺桿螺母一體化的緊小型機體,
可實現(xiàn)裝置的小型化。

無需連接部件,減少因聯(lián)軸器等部件而產(chǎn)生的精度影響,
實現(xiàn)更高精度的定位。



驅(qū)動螺桿分為研磨滾珠螺桿和滾軋滾珠螺桿2種
【最小移動量】0.001mm
【反復(fù)定位精度】
研磨滾珠螺桿:±0.003mm 
滾軋滾珠螺桿:±0.01mm 




支持穩(wěn)定、平滑的加/減速設(shè)定

小型電動缸驅(qū)動支持加/減速過程的設(shè)定,同時可利用驅(qū)動器波形監(jiān)控功能監(jiān)控電動機的運行狀態(tài)及輸出信號的狀態(tài),
助力于裝置的研發(fā)和便捷調(diào)試等用途。



低速且平滑的動作
采用微步驅(qū)動、平滑驅(qū)動功能*,可抑制低速振動,實現(xiàn)平滑移動。
適合穩(wěn)定進給的驅(qū)動軸。
*不改變脈沖輸入設(shè)定,以整步時的移動量、速度自動進行微步驅(qū)動的控制。



搭載產(chǎn)品
?點此下載小型電動缸 DR/DRS2系列(搭載AZ系列)產(chǎn)品目錄


?小型電動缸DR系列(搭載αSTEP AZ系列)
滾珠螺桿與步進電動機組合的直動機構(gòu)傳動裝置。實現(xiàn)了裝置的小型化、輕量化。
驅(qū)動電動機搭載步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEPAZ系列,
AZ系列采用無需電池的絕對式編碼器(ABZO編碼器),

因此無需原點傳感器、限位傳感器等外部傳感器。


?小型電動缸DRS2系列(搭載αSTEP AZ系列)
αSTEP AZ系列電動機與滾珠螺桿一體化,
能夠執(zhí)行直線動作的產(chǎn)品。
機身小巧的同時適用于微小進給·高精度定位。
限位傳感器等外部傳感器。



注意:
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助,請洽詢本公司客戶咨詢中心(電話:400-820-6516)。


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