晶圓Pin針頂升工位·小型電動(dòng)缸應(yīng)用提案
裝置概要
半導(dǎo)體的工藝發(fā)展對設(shè)備的要求逐步提升，對每個(gè)軸的動(dòng)作也愈發(fā)嚴(yán)格。小型化、高效率、高精度、低振動(dòng)……眾多需求在機(jī)構(gòu)上的設(shè)計(jì)應(yīng)用，以下將為您介紹各類提案：
 *圖片僅供示意
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實(shí)現(xiàn)動(dòng)作
將吸附于平臺上的晶圓片通過Pin針頂起，以便于利用搬運(yùn)機(jī)械手進(jìn)行取、送晶圓片。 ※晶圓頂起前，會通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式附著在平臺上。 機(jī)構(gòu)痛點(diǎn)·難題
• 吸附型平臺采用氣缸頂升PIN針，晶圓可能出現(xiàn)“裂片”。• 需頂升大尺寸晶圓，實(shí)現(xiàn)大負(fù)載驅(qū)動(dòng)。 • 實(shí)現(xiàn)小型化。 • 提升效率，提高空間利用率。 |
課題：空間狹小、安裝緊湊、負(fù)載重
設(shè)備空間小型化要求越來越高，對Pin針頂升機(jī)構(gòu)空間要求更加嚴(yán)峻，故頂升機(jī)構(gòu)的整體高度壓縮降低成為新課題。
解決方案： 一體化、小型電動(dòng)缸DRS2系列
●應(yīng)用：半導(dǎo)體制程設(shè)備（例：加熱工藝）
根據(jù)制程工藝要求，需將晶圓頂升至多個(gè)高度位置，以進(jìn)行將晶圓控制在不同的溫度下進(jìn)行反應(yīng)制造。
DR/DRS2系列小型電動(dòng)缸由于采用控制性能優(yōu)異的AZ系列步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，支持：
設(shè)備空間小型化要求越來越高，對Pin針頂升機(jī)構(gòu)空間要求更加嚴(yán)峻，故頂升機(jī)構(gòu)的整體高度壓縮降低成為新課題。
解決方案： 一體化、小型電動(dòng)缸DRS2系列
 *圖片僅供示意
●選用參考例：DRSM42RG-04B2AZMK ?帶電磁制動(dòng) ?αSTEP與滾珠螺桿一體化的緊小型機(jī)體 ?安裝面僅為42mm ?垂直可搬質(zhì)量達(dá)10kg ?最小移動(dòng)量0.001mm ?反復(fù)定位精度±0.003mm 組合使用的電動(dòng)傳動(dòng)裝置、驅(qū)動(dòng)器詳細(xì)內(nèi)容， 詳情請洽詢客戶咨詢中心或距離您最近的銷售點(diǎn)。
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有助于裝置的小型化、輕量化
●構(gòu)成部件數(shù)的比較將工作物移動(dòng)相同沖程量時(shí)的構(gòu)成范例  |
搭載ABZO機(jī)械式絕對編碼器，無需傳感器，省空間、省配線
機(jī)身小巧，實(shí)現(xiàn)裝置小型化、輕量化，加之搭載ABZO編碼器，故無需原點(diǎn)傳感器。
除有助于進(jìn)一步幫助裝置實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間、節(jié)省配線外，還能夠避免使用傳感器時(shí)的定期維護(hù)及可能出現(xiàn)的故障。
●應(yīng)用：半導(dǎo)體制程設(shè)備（例：加熱工藝）
根據(jù)制程工藝要求，需將晶圓頂升至多個(gè)高度位置，以進(jìn)行將晶圓控制在不同的溫度下進(jìn)行反應(yīng)制造。
DR/DRS2系列小型電動(dòng)缸由于采用控制性能優(yōu)異的AZ系列步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，支持：
?多點(diǎn)絕對定位 ?無需外部傳感器 ?停止時(shí)保持力 ?順暢地加/減速運(yùn)行
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搭載產(chǎn)品
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?小型電動(dòng)缸DR系列（搭載αSTEP AZ系列） 因此無需原點(diǎn)傳感器、限位傳感器等外部傳感器。
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?小型電動(dòng)缸DRS2系列（搭載αSTEP AZ系列）
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
